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1. 工作条件
1.1电力供应：220V（±10%），50Hz
1.2工作温度：18°C-23°C
1.3工作湿度：< 80% (20°C)
1.4仪器运行的持久性：仪器可连续使用
1.5 仪器的工作状态：较强的防震抗磁能力，工作稳定
1.6 仪器设备的安全性：符合放射线防护安全标准和电器安全标准
2. 设备用途：
2.1 用于二维和三维尺度对材料科学进行快速、精确的形貌观察和微区的晶体结构和定量表征，选择特定设计的样品台进行原位动态实验。本系统主要有电子光学系统、高压系统、真空系统等部分组成。
3. 技术规格
3.1分辨率
3.1.1信息分辨率：≤0.12nm
3.1.2点分辨率：≤0.25nm
3.1.3 扫描透射分辨率：≤0.16nm
3.2加速电压
3.2.1加速电压：20kV – 200kV高压范围内连续可调，包含20kV, 80 kV, 120kV, 160kV和200kV的常用高压
3.2.2 加速电压全程范围内切换仅需通过软件控制完成
3.2.3 高压稳定性：≤ 1ppm/10min
3.3电子枪
3.3.1电子枪类型：超高亮度高稳定度的肖特基场发射电子枪
3.3.2 束流：1nm束斑电流 ≥ 1.0nA
3.3.4 高亮电子枪，探针电流 ≥ 150nA @200kV
3.3.5 束斑漂移：<1nm/min
3.3.6 最小能量分辨率：≤ 0.7eV
3.4 最小束斑尺寸
3.4.1 平行光照明模式：最小束斑 ≤ 1.2 nm
3.4.2 汇聚束照明模式：最小束斑 ≤ 0.5 nm
3.5会聚束电子衍射（CBED）
3.5.1最大衍射角：≥±13° （半角）；最大接受角≥100°
3.6 透镜系统
3.6.1 球差系数：≤ 1.5 mm
3.6.2 色差系数：≤ 1.6 mm
3.6.3 最小聚焦步长：≤ 3nm
3.6.4 恒功率设计，消除在不同模式切换以及放大倍数调整时产生的热效应，保证成像与分析的超高稳定性
3.6.5 全自动光阑系统，包括全自动化一级、二级聚光镜光阑，及选区光阑和物镜光阑，最好是带位置记忆功能
3.7 TEM放大系统
3.7.1 放大倍数：不窄于25 - 1,500,000倍
3.7.2 放大倍数重复性：< 1.5%
3.8 相机长度：最小 ≤ 12mm；最大 ≥ 5700mm，保证选区衍射和高阶衍射成像并能通过CMOS拍照。
3.9 扫描透射(STEM)
3.9.1分辨率：不大于0.16 nm
3.9.2配置更先进的高角环形暗场探头（HAADF），保证TEM能拍摄高分辨明场BF像的同时，STEM能快速拍摄高质量的暗场DF像和高角环形暗场HAADF像
3.9.3 STEM放大倍数：150 - 230M 倍
3.9.3 TEM与STEM模式相互切换后所需热稳定时间小于30秒，保证BF、DF和HAADF图像采集的无缝式切换
3.10 样品台
3.10.1五轴优中心高精度自动样品台，观察点位置可以标记存储并返回
3.10.2 最大倾斜角度：± 90°
3.10.3 最小样品倾斜角度不小于 (α/β) ±30°/±30°
3.10.4样品移动范围：X,Y ≥ 2 mm；Z ≥ 0.75 mm
3.10.5样品漂移速率（使用标准样品杆）：≤ 0.5nm/min
3.10.6配备单倾样品杆一根，高灵敏低背景双倾样品杆一根
3.11 能谱仪探测器
3.11.1对称式的双电制冷能谱，无窗设计，集成在电镜极靴内，可灵活拆装，保留升级到四个能谱的接口
3.11.2 能量分辨率：≤136 eV (Mn-Ka)，在输出计数率10kcps内保持不变
3.11.3 元素分析范围：从B（5）-Am（95）
3.11.4 最大输入计数率：≥ 500Kcps
3.11.5 EDS立体角：≥ 0.45srad
3.11.6 EDS最高耐热温度：≥ 1000°C，保证后期的加热升级
3.11.7 可进行快速原子级尺寸的点、线、面的定性定量分析，全息面分布分析，具有谱峰剥离和谱峰重构功能
3.11.8对于纳米级球状样品，在不转动样品的前提下，能从多角度收集X射线性能
3.12.9面分布分析最快速度：≤10μs/pixel
3.12.10可同步实时进行STEM图像采集和EDS分析
3.12 数字化照相系统
成像相机是透射电镜的必要附件，用于透射电镜形貌像和电子衍射花样的数字化像的记录，具有数字化图像处理的功能，具有快速的连续记录功能，与所购电镜完美匹配。
3.12.1双相机图像采集系统，配置光子和电子之间可直接转换的CMOS相机一个，光纤耦合CCD相机一个，与电镜一体化。
3.12.2 CMOS相机最大像素：≥4096 4096，像素大小：≥14um 14um
3.12.3 安装方式：底装
3.12.4 具有较高的读取速度，适合拍摄动态录像功能，拍摄速度应不小于25fps@512k x 512k
3.12.5具有大的动态范围可以快速直接拍摄衍射花样和低剂量图像
3.12.6配置的CMOS相机应支持可拔插设计
3.12.7 支持客户根据电镜语言进行控制程序的自编（如CPython 编程语言）
3.12.8 预留升级EELS等附件的接口
3.13 软件操作
3.13.1 数字化操作系统，基于Windows7的64位计算机控制系统, 在用户图形界面上完成电镜的操作控制。
3.13.2 能方便地实现常用功能, 包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。能非常便捷的将数据、软件各模块在两台液晶显示器之间显示。
3.13.3电镜操作者可以根据需要拥有一套或多套电镜状态参数，每套状态参数相互独立，可在使用过程中迅速切换调用。可设置任意多个用户，每个用户之间的参数设置相对独立，同时还可以相互调用。
3.13.4 电镜操作者可以远程控制和操作电镜，不需要暗室。
3.13.5 预留接口，后期升级可以接入EELS等附件。
3.14 离子减薄
3.14.1离子源：双独立的离子源，电压100eV ~ 6.0keV，连续可调
3.14.2最高束流密度不小于10 mA/cm2，连续可调
3.14.3离子源自清洗功能
3.14.4离子源电磁聚焦磁场,金属样品微粒不会吸附在离子源处
3.14.5超大空间样品室、大样品台和悬空工作的设计
3.14.6减薄入射角：-10o ~+ 10o，样品台旋转：0o ~ 360o，可制备具有大面积电子穿透区的样品
3.14.7采用无油真空系统，保证保持样品不受污染，抽真空的时间小于4分钟
3.14.8真空部分包含：无油隔膜泵、涡轮分子泵、真空测定用皮拉尼真空计
3.14.9实时聚焦系统，能根据加速电压的不同，自动调整聚焦磁场强度，聚焦离子束。（要求与永磁铁的固定磁场不同）确保在低电压时，也具有超高的能量密度
3.14.10专用的样品夹技术，确保在零角度时的减薄时也没有污染
3.14.11触摸屏的设置，可以自动控制减薄过程，样品的观察可借助透射光或反射光
3.14.12 配置光学显微镜一台，放大倍率7 – 45倍，用于样品直接观察
3.15超薄切片机
3.15.1 体视显微镜
3.15.2. 放大倍率 9.6-77×
3.15.3. 共心式移动范围 +5°/-8°（可选）
3.15.4. 刀架 360°可旋转自锁刀架，+/-30°分隔刻度，可沿台N-S前后方向自由移动，范围56mm
3.15.5. 切片刀倾角调节范围 -2° - 15°，每1°刻度指示，可使用6-12mm切片刀，兼容任何品牌钻石刀
3.15.6. 弧形样品夹
3.15.7. 样品面旋转 样品可做360°平面旋转，90°对齐刻度
3.15.8. 样品中心旋转 +/- 22°中心旋转
3.15.9. 顶部照光 LED光源，亮度可调节，最大8250lx（在刀锋附近）
3.15.10. 背光 LED光源，亮度可调节，最大3450lx（在刀锋附近）
3.15.11. 样品透射照光 LED光源，亮度可调节，最大200lx（无样品时）
3.15.12. 点照光 LED光源，可开关，最大8600lx（在刀锋附近）
3.15.13. 触摸屏控制面板 高级型10.4英寸触摸屏
3.15.14. 通过USB接口升级系统软件
3.15.15. 切片速度 0.05－100mm/s，旋钮调节
3.15.16. 样品臂步进（厚度）
i. 1－ii. 100nm，iii. 步进1nm，iv.旋钮调节
v. 100－vi. 1000nm，vii. 步进10nm，viii. 旋钮调节
ix. 1000－x. 2500nm，xi. 步进100nm，xii. 旋钮调节
xiii. 2500－xiv. 15000nm，xv. 步进500nm，xvi. 旋钮调节
3.15.17. 切片创面范围 0.2-14mm可调
3.15.18. 样品臂回程速度 10，30，50mm/s可选
3.15.19. 样品臂总行程 200µm
3.15.20. 预警值 20µm
3.15.21. 样品臂前进指示 10段，每段20µm
3.15.22. 切片驱动力 无震动重力切片
3.15.23. 切片厚度/速度存储 500组（每用户5组）
3.15.24. 总行程计数
3.15.25. 切片数计数
3.15.26. 切片行程/切片数倒计数
3.15.27. 可编程自动修块模式
3.15.28. 手动修块模式
3.15.29. 外接脚控装置
3.15.30.左右(E-W)方向刀台移动 25mm，步进马达驱动，安装FC7附件之后10mm移动范围
3.15.31. 左右(E-W)方向移动控制 快速移动按钮和调节滚轮
3.15.32. 左右(E-W)方向步长 250µm
3.15.33. 前后(N-S)方向刀台移动 10mm，步进马达驱动
3.15.34. 前后(N-S)方向移动控制 快速移动按钮和调节滚轮
3.15.35. 前后(N-S)方向步长 0.1-15µm可调
3.15.36. 左右(E-W)方向距离测量 精确至微米级
3.15.37. 静电强度控制 内置
3.15.38. 样品臂马达同步 可绑定
3.15.39. 电压 100 - 260VAC，50/60Hz
3.15.40. 功率 80W
3.16玻璃制刀机
3.16.1采用平衡断裂法原理断裂
3.16.2碳化钨切割滚轮，持久耐用，并自动复位
3.16.3切割压力可方便调节，刻度显示，5档连续可调
3.16.4切割角度：45°
3.16.5断裂压力旋钮调节，压力值刻度显示，并自动复位3.16.6制刀台抽屉式设计，方便取刀，无需其他工具
3.16.7兼容玻璃条规格：6.4 mm，8 mm，10 mm
3.16.8高度重复性，制作出高品质玻璃刀
4.系统附属配件与支持
4.1电镜控制计算机最低配置要求：进口品牌工作站/Intel i7 3.4GHz CPU/Intel Q77 主板/ 内存16G/2×1000G STA II HDD/1GB GDDR5独立的专业图形显卡/DVD刻录机/，2个24寸显示器/Win7 64位操作系统。
4.2配置抗环境干扰的仪器抗干扰罩，增加稳定性。
4.3 配置Times Top 12KVA不间断电源一个，延时两个小时。
4.5 配备冷阱系统，容量不小于8L
4.6 配置标准铜网、标准碳膜各100个
4.7 配置配用场发射灯丝一套
4.8 配置透射电镜专用工具一套
4.9配置壁挂式空调一部，功率不小于2.0匹，配置立柜式空调一部，功率不小于3.0匹
4.10打印机一台：黑白激光打印机 ，接口：高速USB2.0 端口，黑白激光打印；打印速度：标准A4 高达14ppm；黑白打印分辨率：600×600dpi;电源电压：220伏特；产品尺寸：约370×240×200mm；幅面尺寸：A4
5. 技术文件及相关业绩要求
5.1投标人应提供仪器主体及主要附件的详细的操作、安装及调整说明书；
5.2合同签订后提供设备的预安装要求说明；
5.3 合同签订后提供电子版说明书；
5.4随机提供完整的产品验收说明书；
5.5 设备应具有内嵌式的Help文件，对各操作以及功能具有详细的介绍。通过help文件的超链接，可直接控制电镜的操作；
6. 电镜场地的改造要求
6.1 按照厂商设备对场地测试的报告数据进行场地改造，改造部分应包含：磁屏蔽六面体结构及其焊接、独立地线系统、照明及动力系统、消声系统、房间装潢等；
6.2使用导磁材料制作的屏蔽体来提供磁旁路，降低屏蔽体内部的磁通密度。同时尽量增大涡流损耗，使一部分能量转化为热能消耗掉；
6.3要求至少以外界AC磁场为1mGauss作为设计基础值，设计保证在环境磁场增大至1mGauss的情况下，将磁场干扰降至0.3mGauss及以下；
6.4 房间的改造面积：不小于5000mm×4000mm×3200mm（必要时对原房间做隔断处理），室内净高不小于2800mm，设备门洞净尺寸不小于1500mm×2400mm；
6.5磁屏蔽室门：尺寸（净）为1500mm×2400mm×80mm；磁屏蔽门厚度不小于80mm，磁屏蔽门采用内嵌套锁边工艺，满足磁屏蔽的技术要求。门板及门框均采用符合磁屏蔽要求的内嵌工艺，在满足磁屏蔽指标的条件下，门板及门框尽可能做得与现场周边环境匹配，完全闭合后，各门缝处无明显漏磁；
6.6通风波导口：整个屏蔽室设有1个通风口(300mm×300mm)，在出风口上装有排气风扇，使用排气风扇时新风换气速度不小于900m3/h，通风口按波导口处理。在自然通风的条件下，室内新风换气量可达到70m3/h，可满足两个人60m3/h换气量的卫生部颁国家卫生标准。排气风扇与屏蔽壳体为软连接以免引起振动。以波导口形式设计的过孔为设备用电、气、水及空调冷媒等提供通道。
6.7噪音消除：要求选用质量上乘的微孔材料吊顶，内衬高效阻燃吸音材料。
6.8独立地线制作：设置一个单独的接地回路，阻值不大于2Ω。
6.9电源系统设置：与电镜工程师实时沟通，原则上要求配电箱应放置在屏蔽室外侧，即设备准备间内。且所有动力、照明线路套优质pvc管材由屏蔽室外侧沿钢结构外墙至指定位置，在屏蔽壳体上开孔并以波导口方式处理进入屏蔽室。
6.10按照电镜厂商的报告，设计好电源插座及电话线口和以太网线口；准备间内设开关箱，自动空气开关，保证与电镜完全匹配；
6.11屏蔽室的照明：为使屏蔽室内保持简洁轻松的风格，采用内嵌式组合日光灯具照明。房间内共使用14Wx3格栅灯4盏，以保证房间照明至少达到500流明；
6.12房间内空调位置的设计：做好空调器正常安装时所必需的电源插座位置预留和布置工作，空调管线路径的定位等；
6.13地面：地瓷砖贴面，要求震动少，整洁美观。地瓷砖贴面用白色填缝剂填缝；
6.14墙面：屏蔽室内墙饰面采用可装饰性、耐腐蚀性和安全性都较好的铝塑板，高效隔音衬里。要求装饰效果高档、明快，满足环保吸音和安全的各项要求，具有精密仪器实验室的装饰效果。墙面板用黑色硅胶勾缝。所有钢铁结构部分均刷防锈漆，所以木材结构部分（如有）均刷防火涂料；
6.15吊顶：选用带吸音的微孔铝合金板吸音顶面，色泽与墙面一致。整个屏蔽室力求简洁、明亮、舒适；
6.16所有电线、地线走PVC管或软管，保持电镜室的整齐有序；
6.17屏蔽室设备安装平台与其它地面、墙面等隔离（无硬接触），与建筑物地平无相对运动；
6.18装潢充分考虑电镜室防尘防水的要求，材料选择用电镜屏蔽室通行方法处理。
6.19从材料选择、焊接工艺、预处理等环节入手，确保所有设计合理。施工符合国家行业相关标准，要求工程施工符合国家标准《钢结构工程施工质量验收规范》—（GB50205-2001）。
6.20改造完成后，应使用专门精密测试仪器给予全面的测试 。
7.技术服务
7.1预安装：合同正式签字生效后，卖方负责对买方的电镜实验室进行预安装 (主要包括磁场、振动测试等)，提供电镜的安装要求和用户需要准备的安装条件和物资。卖方工程师费用由卖方承担。
7.1.2安装与调试：仪器到达用户所在地后，根据买方的通知，卖方在2周内安排仪器的安装调试，直至达到验收指标。仪器的安装调试应在于15个工作日内完成。
7.2 技术培训：卖方设备安装调试完成后，卖方应对用户技术人员进行调试、操作、仪器维护、故障排除等方面的现场培训，时间不少于5个工作日。要求厂商在中国有自己专门的透射应用实验室和培训中心，方便做样比对和无缝式应用培训。
7.3 服务：要求供货厂家在中国至少设立5家以上的固定维修站，并配备专业维修工程师，能提供及时有效的售后服务。
7.4保修期：卖方对透射电镜主机系统提供三年保修服务。保修期从仪器验收合格、双方签署验收报告之日算起。保修期内，仪器的零配件费用、人工费用、差旅费用 (耗材除外) 均由卖方承担。因使用环境及人为因素造成设备损坏不在保修范围之内。保修期后，厂商应保证终身供应零备件和正常的售后服务。
7.5维修响应时间：卖方承诺在48小时内对用户的服务要求做出响应。如需现场解决问题，在5个工作日内到达仪器现场。重大问题或其他无法迅速解决的问题应在两周内提出明确解决方案。
7.6 软、硬件升级：仪器在保修期内，或保修期外，卖方应免费向用户提供仪器软件升级服务，与之相关的硬件升级收取成本费。
8. 订货数量：1套
9. 目的地：采购人指定地点
10. 交货时间：合同生效后8个月内 |
